[경제] [2025 하반기 혁신특허 기술대상] 반도체 장비 소재 국산화·양산

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나유타

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㈜나유타(대표이사 방상규)는 HBM용 전문 세정과 GaN 기반 화합물반도체 소재 사업에서 핵심 역량을 보유한 반도체 장비 전문 기업이다. 주력 제품으로는 ▶Metal Laser Bonding & Cut System▶ Silicon & Glass Wafer Particle AVI System(12인치)▶ In/Out Inspection System(12인치) 등이 있다.

현재 100% 수입에 의존하는 AlGaN/GaN Epi-Wafer 등 핵심 소재의 국산화에 매진하고 있으며, 고가의 외산 장비를 대체할 신규 증착 장비(NME-CVD) 개발을 통해 2027년부터는 핵심 소재를 직접 양산할 계획이다.

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